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MARC状态:已编 文献类型:中文图书 浏览次数:61

题名/责任者:
纳米集成电路制造工艺/张汝京等编著
出版发行项:
北京:清华大学出版社,2014.07
ISBN及定价:
978-7-302-36027-8/CNY69.00
载体形态项:
xiii, 433页:图;26cm
并列正题名:
Nanoscale integrated circuits-the manufacturing process
个人责任者:
张汝京 编著
学科主题:
纳米材料-集成电路工艺
中图法分类号:
TN405
责任者附注:
张汝京, 于美国南方卫理公会大学 (Southern Methodist University) 取得电子工程博士学位。
书目附注:
有书目
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TN405/6 010601506   文锦书苑     可借 文锦书苑
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