MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：26
- 题名/责任者:
- 图解入门:半导体制造设备基础与构造精讲/(日) 佐藤淳一著 卢涛译
- 出版发行项:
- 北京:机械工业出版社,2022
- ISBN及定价:
- 978-7-111-70801-8/CNY99.00
- 载体形态项:
- XVI, 198页:图;24cm
- 其它题名:
- 半导体制造设备基础与构造精讲
- 丛编项:
- 集成电路科学与技术丛书
- 个人责任者:
- 佐藤淳一 著
- 个人次要责任者:
- 卢涛 译
- 学科主题:
- 半导体工艺-图解
- 中图法分类号:
- TN305
- 一般附注:
- 机工通信
- 版本附注:
- 据原书第3版译出
- 责任者附注:
- 佐藤淳一，京都大学工学研究生院硕士。1978年加入东京电气化学工业股份有限公司 (现TDK)；1982年加入索尼股份有限公司。
- 责任者附注:
- 卢涛，江苏常州人，日本中央大学工科硕士。精通各种半导体制造设备流程与开发，曾参与半导体工厂数据的实时传输和设备状态的分析。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TN305/15=3 | 010936805 |  文锦书苑
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可借 | 文锦书苑 | |
| TN305/15=3 | 010936806 | 文锦书苑
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可借 | 文锦书苑 | |
| TN305/15=3 | 010936807 | 文锦书苑
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可借 | 文锦书苑 |
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