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题名/责任者:

图解入门:半导体制造工艺基础精讲/(日) 佐藤淳一著 王忆文, 王妹娅译

出版发行项:

北京:机械工业出版社,2022

ISBN及定价:

978-7-111-70234-4/CNY99.00

载体形态项:

XIV, 194页:图;23cm

统一题名:

Zukainyumon : yokuwakaru saishin handotai process no kihon to shikumi

其它题名:

半导体制造工艺基础精讲

个人责任者:

佐藤淳一 著

个人次要责任者:

王忆文 译

个人次要责任者:

王妹娅 译

学科主题:

半导体工艺-图解

中图法分类号:

TN305

一般附注:

机工通信

版本附注:

据原书第4版译出

出版发行附注:

仅限在中国大陆地区 (不包括香港、澳门特别行政区及台湾地区) 销售

相关题名附注:

版权页题日文题名：Zukainyumon: yokuwakaru saishin handotai process no kihon to shikumi

责任者附注:

佐藤淳一，京都大学工学研究生院硕士。1978年加入东京电气化学工业股份有限公司 (现TDK)：1982年加入索尼股份有限公司。

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