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- 010 __ |a 978-7-122-36940-6 |d CNY79.00
- 092 __ |b bwz2045kj-00422
- 100 __ |a 20201214d2021 em y0chiy50 ea
- 200 1_ |a 微细加工与微纳加工技术及应用 |d =Micro machining and micro-nano machining technologies and applications |f 赵波, 李伯民, 李清等编著
- 210 __ |a 北京 |c 化学工业出版社 |d 2021-01-01
- 330 __ |a 本书综合了近年来机械微加工和微纳加工领域的国内外新理论、新技术、新成果。全书分别介绍了微切削加工技术,微细电加工技术,激光的微纳米加工技术,面向MEMS与NEMS应用的金刚石CVD技术,纳米机械加工原理、方法与实现;还重点介绍了微纳米加工光刻技术、沉积法图形转移技术、刻蚀法图形转移技术、薄膜沉积技术、自组装纳米加工技术、微纳米加工技术的应用等内容。
- 333 __ |a 机电、微电子、新材料、通信、能源、化工等领域的科研人员、技术人员,相关专业大专师生
- 510 1_ |a Micro machining and micro-nano machining technologies and applications
- 801 _0 |a CN |b 百万庄 |c 20201214