MARC状态:已编 文献类型:电子图书 浏览次数:53
- 题名/责任者:
- 芯片制造:半导体工艺与设备/陈译,陈铖颖,张宏怡编著
- 出版发行项:
- 北京:机械工业出版社,2022.01
- ISBN及定价:
- 978-7-111-68881-5/69.00
- 载体形态项:
- 188页:图;24cm
- 其它题名:
- 半导体工艺与设备
- 丛编项:
- 半导体与集成电路关键技术丛书
- 丛编项:
- 微电子与集成电路先进技术丛书
- 个人责任者:
- 张宏怡 编著
- 个人责任者:
- 陈铖颖 编著
- 中图法分类号:
- TN430.5
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索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
TN430.5/6-1 | 600002858 | ![]() |
可借 | 电子阅览室 |
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