MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：66
- 题名/责任者:
- 芯片制造:半导体工艺与设备/陈译, 陈铖颖, 张宏怡编著
- 出版发行项:
- 北京:机械工业出版社,2022.01
- ISBN及定价:
- 978-7-111-68881-5/CNY69.00
- 载体形态项:
- 188页:图;24cm
- 其它题名:
- 半导体工艺与设备
- 丛编项:
- 半导体与集成电路关键技术丛书
- 丛编项:
- 微电子与集成电路先进技术丛书
- 个人责任者:
- 陈译 编著
- 个人责任者:
- 陈铖颖 编著
- 个人责任者:
- 张宏怡 编著
- 学科主题:
- 芯片-半导体工艺
- 中图法分类号:
- TN430.5
- 书目附注:
- 有书目
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